适配多种光刻机!国产芯片设备取得新突破
适配多种光刻机!国产芯片设备取得新突破
适配多种光刻机!国产芯片设备取得新突破
国产clk芯片,手机芯片中国造,大国机修 芯片 自从10月份美方发布最严芯片新规后,近段时间一直在向荷兰和日本方面施压,希望他们一起跟随实施限制,以使新规能够达到足够的威力,对我们实施全方位限制。
国产clk芯片,手机芯片中国造,大国机修 芯片美方之所以这样做,主要是因为美企只是部分芯片设备先进,荷企和日企某些方面更加先进,比如光刻机。但这也阻挡不了我们前进,近日国产芯片设备取得新突破!
从全球前十大半导体设备厂商来看,美企占3家,其中应用材料第一、泛林集团第三、科磊第五。美方之所以能够对我们实施出口管制,主要就是因为这三大设备巨头。
应用材料的业务几乎贯穿整个半导体工艺制程,涉及薄膜沉积、离子注入、刻蚀、热处理、清洗、测量检测等设备。泛林集团主营刻蚀、薄膜沉积以及清洗等设备。
泛林集团在刻蚀机市场占据半壁江山,科磊是工艺制程检测量测设备的绝对龙头。
美企这三大半导体设备巨头在大陆的市场份额都不小,营收的30%左右来自中企,中芯国际等国内晶圆制造商的很多设备就来自于他们,所以才会受到出口新规限制。
另外,荷兰企业占两家,全球最出名的光刻机巨头ASML排名第二,ASMI排第九。
日企最多占了5家,排名第4、6、7、8、10,其中东京电子是日本最大的半导体设备商,主营涂胶显像、热处理、干法刻蚀、化学气相沉积、湿法清洗及测试等设备。
美企三大设备巨头虽然厉害,但并不是所有设备都领先,比如光刻机就做不了,另外有些设备荷企、日企也能做,所以才会施压荷兰、日本,希望他们一起实施新规。
近日消息传来,荷兰和日本方面已经和美方初步达成了协议,计划一起跟随限制。
芯片制造按顺序需要八大类设备:扩散炉-光刻机-涂胶显影机-刻蚀机-离子注入机-薄膜沉积设备-化学机械抛光机-清洗机。要实现芯片自主,设备必须实现国产突围。
这些芯片设备每一个都非常重要,虽然光刻机是其中最重要的设备,我们相对关注较多,但其他设备哪个也少不了,少哪一个芯片也做不出来,所以都必须引起重视。
尽管芯片制造设备我们主要依赖国外,但其实每一个环节的设备都有国产在做,只是精度上面还有差距,比如光刻机才到90nm,不过蚀刻机已经做到了全球领先水平。
近日,国产芯片设备又取得新突破,第三代前道浸没式高产能涂胶显影机正式发布!
涂胶显影机主要起什么作用呢?涂胶显影设备主要用于在光刻工序中,和光刻机配套使用,主要作用是涂胶、烘烤和显影,能够直接影响光刻工序中曝光图案的形成。
涂胶显影设备决定着光刻过程中曝光图案形成的好坏,所以该设备重要性也很关键。
然而,涂胶显影设备市场集中度较高,上边提到的日企东京电子在全球市场占有率高达88%,在国内涂胶显影设备市场占比达到90%,和日本迪恩士一起占到96%。
国内企业芯源微虽然仅占据了剩下4%的市场份额,但也打破了国外企业在涂胶显影设备市场的垄断。近日,芯源微召开了国产浸没式高产能涂胶显影机新品发布会。
该款设备能匹配全球主流光刻机联机生产,通过选配可全面覆盖I-line、KrF、ArFdry、ArF浸没式等多种光刻技术。这是芯源微自主开发的第三代机型,具备多种优势。
目前,该款机型已通过客户端验证,达到客户量产要求,预计明年可实现批量生产。
涂胶显影机在国外卡脖子的芯片制造设备中,严重程度仅次于光刻机,比蚀刻机卡的还严重。原来蚀刻机卡的也很严重,后来中微半导体实现了突破,才不卡脖子了。
如今,国产涂胶显影机成功打破国外垄断,填补了国内空白,但仍需要向高端机型发展。可见,国外限制根本阻挡不了我们前进,相信还会有更多国产设备实现突破!
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